Esafluoro-1,3-butadiene
L'esafluoro-1,3-butadiene è un alogenuro appartenente alla classe degli alcheni. A temperatura ambiente si presenta come un gas tossico inodore, incolore e infiammabile. Viene usato come agente chimico nel plasma etching di circuiti integrati. I principali paesi produttori di questo composto sono l'Italia e il Giappone.[2]
| Esafluoro-1,3-butadiene | |
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| Nome IUPAC | |
| Esafluoro-1,3-butadiene | |
| Nomi alternativi | |
| Sifren46, perfluorobutadiene | |
| Caratteristiche generali | |
| Formula bruta o molecolare | CF2=CF-CF=CF2 |
| Massa molecolare (u) | 162,03 |
| Aspetto | gas compresso liquefatto |
| Numero CAS | |
| Numero EINECS | 211-681-0 |
| PubChem | 69636 |
| SMILES | C(=C(F)F)(C(=C(F)F)F)F |
| Proprietà chimico-fisiche | |
| Densità (g/cm3, in c.s.) | 1.44 kg/L |
| Densità (kg·m−3, in c.s.) | 6.8 kg/m3 |
| Solubilità in acqua | insolubile |
| Temperatura di fusione | -130 °C |
| Temperatura di ebollizione | +5.5 °C |
| ΔebH0 (kJ·mol−1) | 161.8 kJ/kg |
| Punto critico | 139.6 °C - 31.9 Bar |
| Tensione di vapore (Pa) a K | 0.81 Bar ; 0°C 2.11 Bar ; 25°C 4.66Bar ; 50°C[1] |
| Proprietà termochimiche | |
| ΔfH0 (kJ·mol−1) | -942.2 kJ/mol |
| C0p,m(J·K−1mol−1) | sat.liq. 1134.1 J/(kg*K) sat.vap. 843.7 J/(kg*K) |
| Indicazioni di sicurezza | |
| Limiti di esplosione | 7-73 %v/v |
| Simboli di rischio chimico | |
  
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| Frasi H | 220 - 280 - 331 |
| Consigli P | 210 - 261 - 271 - 304+340 - 311 - 321 - 377 - 381 - 403 - 403+233 - 405 - 410+403 - 501 |
Usi
modificaL'esafluoro-1,3-butadiene viene principalmente usato come gas di etching per la realizzazione di semiconduttori. L'uso di questo gas consente di realizzare features di 90nm con un aspect-ratio circa quattro volte e mezza più alto rispetto all'uso di tetrafluoruro di carbonio. L'esafluoro-1,3-butadiene non contiene cloro quindi non ha alcun Ozone Depletion Potentiale ha un basso (<1 ITH 100y) Global Warming Potential a causa dell'elevata velocità di degradazione nell'atmosfera.
Produzione
modificaDi recente molte compagnie hanno sviluppato tecnologie per produrre l'esafluoro-1,3-butadiene (Asahi Glass, Daikin, NITs MEdkhim, PCBU Services) tuttavia il mercato è dominato solo da due gruppi industriali, l'italiana Ausimont e la giapponese Kanto electrification.[2]
Può essere prodotto secondo diversi metodi chimici:[2]
- Dealogenazione dell'1,4-diiodo-ottafluorobutano
- Reazione fra 1,4-dibromo-ottafluorobutano ed etil-magnesio-bromuro:
- Declorurazione dell'1,2,3,4-tetracloro-esafluorobutano:[3]
Note
modificaAltri progetti
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