3 µm
processo produttivo della tecnologia dei semiconduttori
3 µm (o 3000 nanometri) evoluzione del precedente processo a 10 µm è un processo produttivo della tecnologia dei semiconduttori con cui vengono prodotti i circuiti integrati a larghissima scala di integrazione (VLSI).
Questo processo fu introdotto da Intel, la principale industria di semiconduttori, intorno al 1975.
Il successore di questo processo utilizza una larghezza di canale di 1.5 µm.
