Triclorosilano

composto chimico

Il triclorosilano, avente come formula molecolare HSiCl3, è un composto inorganico, esso si presenta liquido ed incolore a temperatura ambiente, tossico, infiammabile e corrosivo, caratterizzato da una tensione di vapore di 6,7 kPa a 21 °C. Viene trasportato allo stato gassoso pressurizzato con azoto a 138 kPa.

Triclorosilano
Nome IUPAC
triclorosilano
Nomi alternativi
silicocloroformio
Caratteristiche generali
Formula bruta o molecolareCl3HSi
Massa molecolare (u)135,45
Aspettoliquido volatile incolore
Numero CAS10025-78-2
Numero EINECS233-042-5
PubChem24811
SMILES
[SiH](Cl)(Cl)Cl
Proprietà chimico-fisiche
Densità (g/cm3, in c.s.)1,342
Solubilità in acquasi decompone
Temperatura di fusione-126,6 °C (146,6 K)
Temperatura di ebollizione31,8 °C (304,9 K)
Indicazioni di sicurezza
Punto di fiamma-27 °C (246 K)

Applicazioni

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Nell’industria dei semiconduttori, il triclorosilano è impiegato per la deposizione epitassiale di silicio, specialmente per gli strati più spessi (> 5 µm) e se non è cruciale ottenere transizioni di profilo nette ed avere uno stretto controllo sullo spessore del film.

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